二自由度笛卡尔坐标高速高精度定位系统研制区域

科学技术部2007年10月25道86 计划先进制造与自动化领域支持的“面向MEMS加工的精密定位技术的研究”进展顺利，已经完成了二自由度笛卡尔坐标高速高精度定位系统研制工作。

本课题在研究过程中，发展了一种由直线音圈电机直接驱动的2自由度笛卡尔坐标型用于IC芯片封装的高速高精度定位装置。其结构特点采用直线音圈电机直接驱动X、Y工作台，省去了传动环节，而且音圈电机具有无滞后、高响应、高速度及高加速度、控制方便等特点，有效地提高了该定位装置的性能。通过采用无间隙新型解耦结构，不仅使机构具有传统XY工作台运动学解耦的特点，而且可将驱动部件置于底座上，降低了机构的运动惯量。采用直线光栅作为末端位置反馈，可以较好地保证系统的高速高精度。

本研究成果除用于面向MEMS微连接和组装装备的开发外，相关的单元技术在其它领域中，如IC封装、精密电子设备装配流水线、生物芯片制备、大范围高速扫描装置中均有广泛的应用前景。面向不同的应用领域，通过单元技术集成，可开发出不同的应用系统。