月21-2 日
过滤设备2020年02月12日
月21-2 日,VICTREX PEEK 聚合物及VICOTE涂料高性能材料的制造商英国威格斯公司(Victrex plc)在中国国际半导体设备与材料展览会暨研讨会 (SEMICON CHINA 2007) 的 09号展台上,展示公司在半导体领域的一系列专有技术。
在展示的多种应用中包括了CMP保持环与晶圆转运箱。VICTREX PEEK正被广泛认同为晶圆传输与储存应用的首选材料,尤其是前开式晶圆盒(FOUP)与晶圆转运箱。随着晶圆尺寸、产量及单个晶圆成本逐渐增大,通过降低因不同工艺步骤产生的晶圆污染与损失而提高产量的压力越来越大。
VICTREX PEEK聚合物经验证能够为晶圆转运箱应用提供理想的综合性能,包括出色的耐化学品性能、优异的耐磨损性能,尤其是低颗粒产生率特性。VICTREX PEEK的粒子脱落特性优于其它同类材料,而且可萃取物的水平更非常低。
威格斯公司亚太地区市务经理ST Namgoong称:“我们目前向中国大陆、日本、韩国和台湾的许多晶圆制造厂供应 VICTREX PEEK。在半导体领域,尤其是晶圆盒应用方面,VICTREX PEEK因其具有固有高纯度、高强度、耐化学品性能、耐高温性能及电气性能,对于产品的成败起着决定性作用。此外,VICTREX PEEK凭借这些独特性能,获广泛认可为制造CMP环的首选高性能热塑性材料之一。”
英国威格斯公司是全球领先的高性能材料制造商,其产品包括VICTREX PEEK聚合物和VICOTE 涂料。 月21日,威格斯宣布成立北京办事处。此项新投资充分显示出威格斯对VICTREX PEEK聚合物的开发与创新的专注和重视,并进一步落实了公司积极与客户及终端用户合作的战略,从而开发创新的高性能聚合物应用。佛山牛皮癣医院地址
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