简称光罩传送盒应用的主要组件材料
电工电气2020年02月15日
英国威格斯公司(Victrex plc)近日宣布,世界领先光罩全方位解决方案供货商——家登精密股份有限公司 (Gudeng Precision Industrial) 已采用VICTREX PEEK聚合材料作为其最新款150mm单光罩标准机械接口传送盒,简称光罩传送盒应用的主要组件材料。
透过将VICTREX PEEK聚合材料具高硬度、极少的颗粒产生量、高洁净度以及强ESD性能等特性用于与光罩的所有接触点上,此款专门设计的光罩传送盒,能有效地在生产、传送以及处理光罩过程中,减少产生任何颗粒或释气。
光罩传送盒应用的关键在于处理传送盒的过程中,包括打开与关上输送箱时,需减少或避免产生任何颗粒或释气。因此,用户必须仔细选择输送箱的材料。家登精密选择VICTREX PEEK聚合材料,是因为该材料具有硬度高、颗粒产生量极少、洁净度高及ESD性能强等特性。此外,这种聚合材料还具有卓越的耐化学腐蚀性、耐磨损性、耐水解性、非常优异的电介质强度及出色的耐辐射性能,因此能够满足、甚至超越该应用对关键材料的全部要求。特别是VICTREX PEEK的粒子脱落特性较其它竞争材料更为优越,而且具有极低的可萃取物特性或挥发特性。
目前利用这些性能的关键半导体应用包括CMP保持环、晶圆传输、晶圆存储及晶圆箱(FOUP)。止咳药不含防腐剂效果好吗
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透过将VICTREX PEEK聚合材料具高硬度、极少的颗粒产生量、高洁净度以及强ESD性能等特性用于与光罩的所有接触点上,此款专门设计的光罩传送盒,能有效地在生产、传送以及处理光罩过程中,减少产生任何颗粒或释气。
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